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【上海市,黄浦区】上海交通大学电子信息与电气工程学院气相氟化氢刻蚀系统国际招标公开招标公告
发布时间 2021-02-09 截止日期 立即查看
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招投标详情


项目概况

上海交通大学电子信息与电气工程学院气相氟化氢刻蚀系统 招标项目的潜在投标人应在***市共***路1301号C座110室获取招标文件,并于******月***日 09点***分(北京时间)前递交投标文件。


一、项目基本情况

项目编号***

项目名称:上海交通大学电子信息与电气工程学院气相氟化氢刻蚀系统

预算金额******元(人民币)

最高限价***0.***元(人民币)

采购需求:

序号

货物名称

数量

简要技术规格

交货期

交货地点

1

气相蒸汽刻蚀机

1台

1. 可支持4/6/8英寸晶圆工艺

2. 刻蚀程序自动控制,刻蚀速率大于100 /min。

3. 片内均匀性:≤5%,Max-Min/2*Average; 片内重复性:≤5%,Max-Min/2*Average。

4. 尾气处理系统HF吸附率:>99%;无HF尾气泄漏。

(详见第八章)

合同签订后3个月内

关境外货物:

CIP上海交通大学

关境内货物:

上海交通大学


合同履行期限:合同签订后3个月内

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

无,国际招标


3.本项目的特定资格要求:1)具有独立的法人资格,相应的经营范围;2)投标人是专业生产本次所需设备的制造商,或由制造商指定一个代理商作为本次投标的唯一授权代理;3)投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品;4)投标人必须在机电产品招标投标电子交易平台上注册,网址:http***受联合体投标;6)已购买本招标文件。

三、获取招标文件

时间:******月***日  至 ******月***日,每天上午9:30至11:30,下午13:00至16:00。(北京时间,法定节假日除外)

地点:***市共***路1301号C座110室

方式:电汇

售价****元,本公告包含的招标文件***

四、提交投标文件截止时间***、开标时间和地点

提交投标文件截止时间***:******月***日 09点***分(北京时间)

开标时间:******月***日 09点***分(北京时间)

地点:***市共***路1301号C座111室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜


校内编号***br/>有意向的投标人可从******月***日起至******月***日,每天(节假日除外)上午9:***时至下午16:***时(北京时间)***购买招标文件,本招标文件****元或美元85,标书售后不退(邮购***元人民***元)。
有意向的投标人报名时须先登录“上海交通大学招投标与政府采购办公室(http***.cn/)”进行网上注册。
因疫情原因,本招标文件***,有意向购买的投标人将营业执照复印件、法人代表授权书、身份证复印件(以上材料须加盖公章)、汇款底单(须公对公)和开票信息发送至lins32@126.com,在邮件中注明项目名称、联系人和电话,经招标代理机构***。(购买标书登记表在附件内请填写好与相关报名资料一并发送至邮箱)
招标机构:***
开户银行(人民币):中国民生银行上海分行虹桥支行
账号(人民币):***
摘要:0834-2141SH21A032



七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:上海交通大学     

地址:***市***路800号        

联系方式:陆老师***,技术联系人:****** 

2.采购代理机构***

名 称:***            

地 址:***市共***路1301号C座110室            

联系方式:林佳文、吴乾清***、86-21-***、lins32@126.com            

3.项目联系方式

项目联系人***吴乾清

电 话:***、86-21-***

 



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