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项目信息网 > 招投标信息 > 招标预告 > 深圳技术大学PECVD和磁控溅射系统意向公开
【,广东,深圳市】深圳技术大学PECVD和磁控溅射系统意向公开
发布时间：2023-11-15
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标签： 招标预告深圳技术大学PECVD和磁控溅射系统意向公开深圳技术大学招标信息招标采购
发布时间 2023-11-15 截止日期 立即查看
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招投标详情

***PECVD和磁控溅射系统意向公开
采购单位:***
项目名称:PECVD和磁控溅射系统
预算金额***/td>3,946,000.000
采购品目:真空应用设备
采购需求概况:1. 采购PECVD系统一套，主要参数如下：
1.1. 衬底尺寸：≥182mm*182mm，≥1片；
1.2. 极限真空度：≤1.0E-4Pa；
1.3. 长期使用温度范围：150-250℃；温度均匀性：≤±5℃；
1.4. 气体种类至少包含：硅烷、氢气、硼烷、磷烷、氩气、氮气；

2. 采购磁控溅射系统一套，主要参数如下：
2.1 衬底尺寸：≥182mm*182mm，≥1片；
2.2 溅射靶：≥2套；
2.3 工艺腔极限真空：≤1.0E-4Pa；
2.4 电源： 电源个数≥2个,电源功率≥1kW；
2.5 靶基距可调；
2.6 工艺气体供气至少包含：Ar、O2
联系人:项老师
联系电话:***
预计采购时间:2024-02
备注:无
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