*** 1. 氮化硅波导厚度400nm±20nm； 2. 氮化硅结构特征尺寸（CD）200nm±20nm； 3. 芯片加工包含金属热电阻工艺； 4. 提供LIGENTEC PDK，包含MZ干涉仪、低损耗延迟线、可调谐MZ器件、可调谐环形谐振器、移相器、ExSpot模斑转换器等6种以上器件库； 5. 芯片面积≥4.8mm*10 mm; 6. 芯片交付数量不少于7片。 商务需求： 1， 关于交货： 1.1交货地点：采购人指定地点； 1.2交货期：合同签订后***日内（自然日）交付符合合同条款的货物。 2， 报价*** 2.1国产含税 2.1.1投标价***币含税价***.2投标价***用，包含但不限于仪器设备辅助设施及配件购置、税费、包装、运输、保险、装卸、装卸、调试、技术服务、培训、检测、服务、质保期（质保期内设备及部件故障的更换，维修和退运返修）、售后服务等，验收合格交付使用之前的一切费用，采购人不在另行支付其他费用。 3， 关于付款方式 ① 签订合同后10天内供应商提供能力展示（满足所有质保及服务承诺要求），经采购人确认后支付80%货款； ② 到货安装验收合格后，支付剩余20%的货款。 4， 质保和售后服务 4.1中标人需为本项目配备足够的售后服务力量。 4.2中标人售后服务响应时间：电话响应时间要求1小时内，到场响应时间要求24个小时内（指从接到报障至到达故障现场的时间）。 4.3中标人必须能够随时提供全新备品，一旦设备出现问题必须保证全新备品能在24小时内到现场，48小时内解决相关问题。 4.4中标人免费提供技术支持热线电话。 4.5中标人免费提供email技术支持，并且在24小时内回复。 4.6中标人提供仪器设备的免费保修期至少0.25年（保修期内免费维修并更换除消耗品以外的零部件，维修人***路费、食宿等自理）。 4.7中标人提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器说明书，并指导在使用该设备时的操作注意 5， 关于违约 由于中标人的原因未能按时供货的，每迟一天罚款合同总额的0.5%，累计不超过10%。如超过供货期45天，采购人有权视情况终止采购合同并通过法律程序对供应商进行索赔。***