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【广东,广州市】高温化学气相沉积系统
发布时间 2023-01-05 截止日期 立即查看
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招投标详情

***材料科学与工程学院高温化学气相沉积系统采购项目

基本信息

项目编号***7" >中大招(货)[2023]002号
项目名称***材料科学与工程学院高温化学气相沉积系统采购项目
项目类型 货物采购 申购主题高温化学气相沉积系统采购单位***
项目预算 *** 采购开始时间***采购结束时间***是否送货
期望收货时间 合同签订后120天交货 经办人黎老师经办人电话***
送货地址***市***区大学城***化学材***楼606
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价***(进口)请报免税人民币价******必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价***价***部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用, 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书,请供应商根据指引(http***.edu.cn/article/4902)提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价***td>

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
高温化学气相沉积系统1台详情请进入系统查看
"高温化学气相沉积系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 主机参数:设备组成:真空室、热CVD炉、气路系统、真空与测量系统、电源与控制系统等组成。 重要
2 1、真空室(加热体,传感探头等均置于真空室内):1.1不锈钢材质(圆柱外形,直径300-350 mm,长度400-500 mm); 重要
3 1.2两侧双开门; 重要
4 1.3循环水冷 (配备水泵与水箱); 重要
5 1.4铜圈密封法兰; 重要
6 2、热CVD炉:2.1高纯石墨加热体; 重要
7 2.2炉体采用钼-石墨多层结构隔热屏; 重要
8 ★2.3长时间工作温度≥1350 ℃,短时间(1小时)支持工作温度至少1500 ℃。 重要
9 3、真空系统:★3.1机械泵;冷态极限压强≤6.6 Pa;24小时冷态漏气气压在10 Pa内; 重要
10 3.2复合真空计可测量该真空度到常压整个范围; 重要
11 4、气路系统:至***路进***路分别由质量流量计控制,流量量程分别为500/100/50 sccm,由小型混气灌(1L)进入真空腔体. 重要
12 5、电源与控制系统:5.1 380 V/50 Hz三相五线制供电;设备总控制电源对系统进行供电, 重要
13 5.2有断水欠压报警和切断加热电源保护功能; 重要
14 5.3 温控表设置工艺升降温曲线,控温精度±1℃。 非常重要
15 售后服务要求:远程沟通,指导客户解决,如无法自行解决,工程师7个工作日上门维修 重要
16 培训要求:除一般性操作外,培训客户安装、拆卸、更换加热体,更换法兰密封圈以及易发生故障的处理办法 重要


欢迎供应商注册、报价***请联系技术支持qq:***88

1、注册审核时间为(工作日8:30 - 17:30),一般为当个工作日。
2、缴费确认时间(工作日8:30 - 17:30):
a、对公转账一般到账时间需要四个小时,缴费确认需要四个小时以上,节假日期间请使用微信支付
b、推荐使用微信支付,微信支付实时到账系统自动确认收款,可马上报价***r> 3、资料准备时间为1-***日,请供应商提前准备。
4、供应商第一次报价***长时间,请提前报价***div class="modal-footer" style="text-align: center;margin-top: 50px">

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