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【天津,津南区】RIE反应离子刻蚀机

发布时间：2022-12-12

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招投标详情

天津大学 - 竞价***B***)

发布时间：***截止时间***：***

基本信息：

申购明细：

序号

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采购内容

*** RIE反应离子刻蚀机***

数量

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预算单价***>

***品牌***

*** 无***

***型号***

*** RIE200plus***

*** 规格参数***

*** 型号：RIE200plus PLC工控机控制，7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化操作界面显示，自动监测工艺参数状态，0~99配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。全真***路系统采用316不锈钢材质。采用防腐数字流量计控制，标***路气体输送系统，可选***路气体输送系统，可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。具备HEPA高效过滤气体返填吹扫功能。人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。 316不锈钢、航空铝真空仓选择。采用顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。上置式360度水平取放样品设计。最大处理直径2***元硅片。安全保护，仓门打开，自动关闭电源。舱体内尺寸：H38xΦ260mm。舱体容积：2L。射频电源：13.56MHz，射频功率10-300W无极可调。电极：不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm。自动匹配器。 RIE刻蚀方式。气体控制：质量流量计（MFC）（标***路，可***路）流量范围0-500SCCM（可调）。工艺气体选择：Ar、N、O、H、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）。时间设定1-***分59秒。真空泵：Edwards爱德华真空泵 RV3双级旋片泵，抽速：8m3/h，极限真空≤1Pa。气体稳定时间：***分钟***

***质保及售后服务***

*** 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）***

***附件***

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