项目名称

MCP 高二次电子发射材料沉积设备及工艺研发

项目负责人

夏洋

验收日期

2025年05月15日

项目承担单位

浙江中科应用技术研究院

验收结果

通过

验收组成员

莫非、邱克强、黄增麒、戈秀龙、、杨惠芳

验收意见

一、提供的验收资料齐全、规范，符合验收要求。

二、项目完成了MCP 高二次电子发射材料沉积设备的研制以及高二次电子发射材料Ir 薄膜沉积工艺的研发。项目实施过程中，攻克了双层腔室设计、腔体内部均匀加热系统设计以及Ir前驱体进源难的难题。最终，项目达到了合同书的要求：1.原子层沉积设备真空度高于5×10-3Torr；2. MCP功能层Ir单质，孔内沉积的薄膜非均匀性≤5%；3.项目期内通过本项目已实现2554. 研制了带有微流床进源系统的原子层沉积设备1套；5.申请专利4项，其中发明专利2项。

三、***检测（报告编号R***4），技术指标符合合同书的要求，经用户使用，反映良好。

四、项目预算总经费浙江昌信会计师事务所（浙昌会所专审(2025)124号）专项审计（决算），实际经费支出11***元，其中财政科技补助经费支出规。

验收组认为，该项目完成了项目合同书规定的主要内容和任务，同意通过验收。

发布机构

浙江中科应用技术研究院

发布时间

2025.05.15