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【广东省,中山市】中山大学微电子科学与技术学院真空退火炉、氧化炉采购项目

标签：中标公告广东省中山大学微电子科学与技术学院真空退火炉、氧化炉采购项目中山大学招标信息招标采购

发布时间：2021-07-10

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招投标详情

***微电子科学与技术学院真空退火炉、氧化炉采购项目

基本信息

项目编号***7“ class=“L003“>中大招（货）[2021]604号
项目名称	***微电子科学与技术学院真空退火炉、氧化炉采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	真空退火炉、氧化炉	采购单位	***
项目预算	***	采购开始时间	***	采购结束时间	***	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后60天交货	经办人	李老师	经办人电话	***
送货地址	*省市区珠**区红楼12栋
备注	1、国内供货请报含税人民币价*（进口）请报免税人民币价**必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价价部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价*td>

设备列表

采购设备

数量

参考品牌

详细响应要求

真空退火炉、氧化炉

2台

【ECOPIA】【ULTECH】

详情请进入系统查看

“真空退火炉、氧化炉“技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否需要附件说明
1	加热方式：红外卤素钨灯，1500瓦/支；	重要	否
2	卤灯数量：不少于12支，卤灯使用寿命不低于1000h；	重要	否
3	最快升温速率：不低于80℃/Second；	非常重要	是
4	最快降温速率：不高于60秒(1000℃ → 400℃)；	非常重要	是
5	最高温度：不低于1200℃；	重要	否
6	★测温方式：直径0.5mm热电偶，温度精度：+/-1℃ ；	非常重要	是
7	最大样品尺寸：4英寸；	重要	否
8	工作环境：支持真空，最大真空度10-3Torr	重要	否
9	配***路流量计引入气体(氮气，氩气，氧气，Forming Gas)、空气；配置浮子流量计，最大10cc/min，精度1cc/min。	重要	否
10	电压：三项电，220 V。	重要	否
11	腔室尺寸不小于190mm x 150mm x 39.5mm；	重要	否
12	附件参数: 1.真空规：皮亚尼真空规，包括真空规连接器；RVP-4,抽气速率，3L/S，极限压力，分压力最大0.01pa，，全压力0.1pa，转速rpm：1450； 2.制冷功率2850W，制冷方式：风冷，循环水流量：1立方米/小时；	重要	否
13	配置清单: 1.快速退火炉主机2台 2.真空计2台 3.真空泵2台 4.冷水机2台	重要	否
14	售后服务要求: 1、供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作； 2、收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试； 3、保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好； 4、每年至少提供一次免费上门检修服务。	重要	否
15	培训要求: 1、设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少3名操作人员能够排除大部分机器故障，熟练使用设备为止； 2、设备厂家需提供免费技术支持电话，解答用户问题并提供现场维护服务； 3、设备厂家需提供现场安装调试服务，提供详细技术资料并免费对我方进行培训，培训的内容及方案应由双方协商制定，确保本单位***。	重要	否

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