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【广东省,中山市】中山大学微电子科学与技术学院刻蚀机采购项目

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发布时间：2021-07-10

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招投标详情

***微电子科学与技术学院刻蚀机采购项目

基本信息

项目编号***7“ class=“L003“>中大招（货）[2021]602号
项目名称	***微电子科学与技术学院刻蚀机采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	刻蚀机	采购单位	***
项目预算	***	采购开始时间	***	采购结束时间	***	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后60天交货	经办人	李老师	经办人电话	***
送货地址	*省市区珠**区红楼12栋
备注	1、国内供货请报含税人民币价*（进口）请报免税人民币价**必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价价部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价*td>

设备列表

采购设备

数量

参考品牌

详细响应要求

刻蚀机

1台

【SAMCO】【牛津仪器】

详情请进入系统查看

“刻蚀机“技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否需要附件说明
1	设备外形：一体机型；	重要	否
2	设备大小：不大于1100mm(长)X780mm(宽)X1080mm(高)，机台占地面积不大于1100mmX780mm；	重要	否
3	刻蚀样片大小：6英寸片，兼容两英寸片以及碎片；	重要	否
4	工艺腔：铝材一体成型，内圆外圆，腔室内径不大于300mm，高度不大于160mm；样片工艺距离不小于90mm；刻蚀精度（均匀度）：±5%；	非常重要	是
5	工艺进气方式：工艺腔顶部四周进气；	重要	否
6	机台抽气方式：腔室下方抽气，抽口直径不小于100mm；	非常重要	是
7	★工艺射频电源：不大于300W，13.56MHZ，自动匹配，最小稳定工艺启辉射频功率5W；	非常重要	是
8	真空系统：采用分子泵组，分子泵抽速不大于620L/s，前级泵抽速不小于10L/s；	重要	否
9	★工艺压力范围：0~1Torr，精度<0.2% of Read Value；	非常重要	是
10	气路系统：配***路工艺气体、一路N2吹扫气体，一路CDA；	重要	否
11	工艺气体：O2、Ar、CF4与CHF3，流量范围0~300scmm，流量控制精度±0.3% of Full Scale；	重要	否
12	控制系统：基于C语言，自主研发，全自动控制流程，带有recipe菜单，日志与数据记录，异常报警与处理，登录权限管理；	重要	否
13	人机交互界面：15英寸触摸屏，位于机台操作面正上方，水平放置；	重要	否
14	刻蚀材料：Si、SiO2、石英、SiNx、Cu、Al以及有机材料PR；	重要	否
15	★边长小于2mm的小样片在样片台上不翻转不掉落；刻蚀速率：SiO2/SiNx：>100nm/min; Si:>150nm/min; PR:>300nm/min；刻蚀能力：可刻蚀10nm以上各工艺节点；	非常重要	是
16	售后服务要求: 1.厂商需提供技术人员24小时电话响应。机台出现故障后，厂商需在1个小时内给出响应。 2.若厂商技术人员能够远程确认机台故障原因：在2小时候内指导用户完成机台故障排除。如果远程无法解决机台故障，厂商需在24个小时内到达设备现场进行故障排除；对于一般故障，需在设备现场24个小时内解决问题。若24小时内无法解决，厂家24小时内给出解决方案，并在72小时内解决。 3.若厂商技术人员不能远程确认机台故障原因：需在24小时内到达设备现场进行机台故障原因排查。对于一般故障，厂商需在24小时内解决问题。若24小时内无法解决，厂商要在24小时内给出解决方案，并在72小时内解决。 4.质保期外，厂商需在48小时内提供维修方案，经用户确认，按维修方案进行故障排除。 5.对于重大故障如更换零部件等，厂商需在24小时内到达设备现场，并在24小时内解决故障。 6.保修范围： 6.1.保修期内，整机所有部件非人为损坏情况下，需提供所有部件全部免费保修保换服务； 6.2.保修期内或保修期外，如发现机台设计重大缺陷，需提供换货与退货服务。	重要	否
17	培训要求: 1、质保期内，厂家提供两次免费现场机台培训服务。现场机台培训服务包含：机台工作原理与结构组成培训、机台操作培训、机台工艺调试培训、机台保养操作培训、机台故障维护培训； 2、质保期外，厂家再提供一次现场培训服务； 3、培训时长：直到所有参与培训人员（培训人数不限）全部可以独立操作维护机台。	重要	否
18	尾气处*道要求：支持抽风机通*道排放至外部	重要	否

欢迎供应商注册、投标，如有疑问请联系技术支持qq:***88

1、注册审核时间为（工作日8：30 - 17:30），一般为当个工作日。
2、缴费确认时间（工作日8：30 - 17:30）：
a、对公转账一般到账时间需要四个小时，缴费确认需要四个小时以上，节假日期间请使用微信支付
b、推荐使用微信支付，微信支付实时到账系统自动确认收款，可马上报价***
3、资料准备时间为1-***日，请供应商提前准备。
4、供应商第一次报价***长时间，请提前报价***

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