*** 定制***

*** 定制***

*** 极限真空度：≤6.67x10-5Pa (经烘烤除气后)； 2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，***分钟可达到6.6x10-4 Pa； 4、停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa； 5、真空室为矩形两端开门结构，尺寸约1000mmx550mmx300mm。可内烘烤除气，选用优质304不锈钢材料制造，氩弧焊接，外表面喷砂后，整体进行电化学抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封。腔体有各种法兰接口，包括观察窗口、进气阀、放气阀、热偶规管，电极引线接口、电离规管、旁抽阀、外照明接口、分子泵接口、预留部分功能接口。 6、复合分子泵及变频控制电源：1套，抽气速率（氮气）2000L/S，复合抽气结构，任意角度安装，极限压强6.67x10-7Pa，额定转速24000RPM，进气口法兰DN250，冷却方式，水冷。 7、直联机械泵：1台，抽气速率14L/S，极限压力4*10-1帕，进气口径40KF，转速1450RPM。 8、真空阀门：电动插板阀CF250：1台（用于复合分子泵与真空室隔离、控压）； 气动旁抽角阀DN40：1台；高真空挡板阀DN40：1台；分子泵与机械泵软联接金属软管：1套；机械泵与真空室之间的旁***路：1套。 9、真空测量：采用数显真空计进行测量，测量范围：1x105Pa-1x10-5Pa. 10、采用触摸屏集成控制方式，使用带触屏功能的工业一体机，设定工艺参数，一键式运行，界面有：真空获得、实时曲线、数据记录。显示设备的系统图，能够控制泵、阀。可以直观看到真空曲线及温度曲线，利用真空曲线可以看到真空度变化情况，可以辅助检漏。***