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【安徽,蚌埠市】安徽华鑫微纳集成电路有限公司-8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机-招标公告
发布时间 2024-04-01 截止日期 立即查看
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[if gte mso 9]>MireyaMireya***DC7720BE41944DB8BC69DDF4FA82E5F_132052-12.1.0.16417eyJoZGlkIjoiZjg1Mjk3MTczMGU1MmU0YmIyY2UyOWU1MjRlNjQzZGIifQ==Microsoft***Specified7.8 磅Web0 8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机招标公告 一、项目概况 [if !supportLists]1. [endif]项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机 [if !supportLists]2. [endif]项目编号***sts]3. [endif]供货范围:该设备可用于硅平面或金属平面溅射Al、AlSiCu、Ti、TiN、Cr、TiW、Au、W、WN、Ta、TaN等金属薄膜磁控溅射工艺,具备金属成膜能力。 [if !supportLists]4. [endif]质量要求:工艺腔室极限真空:≤6E-8Torr; 工艺腔室漏气率:≤5000nTorr; 反溅腔室极限真空:≤5E-7Torr; 反溅腔室漏气率:≤5000nTorr; 二、供应商资格要求: 详见中国国际招标网 三、报名方式 本项目采取公开方式选择供应商,***电子招投标平台在******月***日***时***分前报名参加本项目。 四、采购文件的获取 1、采购文件获取地地址:本项目不再提供纸质采购文件,***电子招投标平台下载采购文件。 2、***电子招投标平台进行注册。注册账号审核通过后,在“用户登录”,输入账号及密码登录系统,点击→,找到《8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机》,点击“”,即可查看项目信息并报名参与项目。只有登记购买本招标文件***。 五、投标地点***: ***市***区北三***路25号英斯泰克大厦5层会议室 请投标人的法定代表人或其授权的投标人代表出席开标仪式。 六、公告媒体 本公告在在“中国政府采购网”***电子招投标平台发布。对于其他媒介发布的本项目公告,招标代理机构***。 七、凡对本次招标提出询问,***联系: 招标代理机构:*** 地址:***市***区通用时代中心 邮编:100073 联系人:*** 联系电话:***520 电子邮件:tangyutong1@cnic.gt.cn 采购人:*** 地址:***省***市东***道888号 电话:***315 *** ******月***日 EndFragment

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