序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

特殊气***路管理分配系统

微纳实验室供气设备

1、设备技术参数:

（1）BCl3气路分配管理: 由特气阀箱配给ICP设备 ，供气点:1个。具备紧急切断功能，手动关断功能，排风功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（2）H2 气路分配管理:由特气阀箱配给设备CVD和ICP设备，供气点:1个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（3）SiH4 气路分配管理:由特气阀箱配给CVD设备，供气点:4个。具备独立调压功能，手动关断功能，排风功能，具备紧急切断功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。管道要求双套管输送管理保证无泄漏，内管泄露报警功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；；

（4）CH4 气路分配管理:由特气阀箱配给CVD设备，供气点:2个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（5）HBr 气路分配管理:由特气阀箱配给设备CVD设备，供气点:1个。具备独立调节压力功能，出、入口手动关断功能，排风功能。增加的供气点要能够实现泄露紧急切断，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（6）NH3 气路分配管理:由特气阀箱配给CVD和ICP设备，供气点:6个。设备具备独立调压功能，手动关断功能，排风功能，具备紧急切断功能，紧急切断系统要连接至现有远程控制程序。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（7）高纯氮气路分配管理:由纯化***路配给 CVD、退火炉，ICP，RIE设备，供气面板:7个，面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；。

（8）Ar 气路分配管理:由气***路配给设备PVD、CVD 、退火炉、ICP、RIE、IBE，等离子去胶机设备，供气面板:8个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（9）He 气路分配管理:由气***路配给ICP、RIE 、IBE 设备，供气面板:7个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（10）O2 气路分配管理:由气***路配给PVD 、 CVD、ALD、退火炉，ICP ，RIE ，IBE ，等离子去胶机设备，供气面板: 10个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（11）CF4 气路分配管理:由气***路配给CVD、ICP、RIE设备， 供气面板:4个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（12）SF6 气路分配管理:由气***路配给ICP、RIE设备，供气面板:2个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（13）CHF3气路分配管理:由气***路配给ICP、RIE设备，供气面板:2个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求；

（14）N2O 气路分配管理:由气***路配给CVD设备，供气面板:1个。面板具备出、入口手动关断功能，调压功能，出口压力显示功能。满足99.999999%纯度气体输送要求 ；

（15）N2 纯化器旁通设备:有氮气站供气系统接入纯化氮气系统。要求使用双阀隔离。出口可以满足99.999999%纯度气体输送要求 ；

（16）设备架:共2台，采用不锈钢材质，满足ICP混气柜和冷水机的需求；

（17）应急电池组设备: 共1台，采用移动式，容量为6KW.hr。

2

售后服务

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。投标单位******、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在2小时内响应，4小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件***）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价***和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。

4、质保期2年。

序号

产品

数量/单位

1

特殊气***路管理分配系统

1套

2

安装实施服务

1项