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【华东江苏】聚力成半导体(盐城)有限公司第三代半导体氮化镓外延片制造产业链项目
发布时间 所属行业 项目性质 地区
2021-03-05 机械电子电器 新建 江苏
聚力成半导体(盐城)有限公司第三代半导体氮化镓外延片制造产业链项目,
1、项目建设地址:江苏省盐城市盐都区火炬路以东、汇智路以南、创智路以西、盐渎路以北地块。
2、项目内容:项目新征用土地61574平方米(约92.36亩),新建生产厂房、仓库及辅助设施实际总建筑面积为53695.27平方米。本项目新上氮化镓外延片生产线,采用外延生产、镭射刻码、表面清洗、厚度/均匀性量测、粗糙度量测、晶体质量量测、迁移率量测、表面清洗、表面缺陷量测和入库生产工艺流程;新上氮化镓晶圆薄化生产线,采用贴胶、研磨、粗化湿蚀刻、IPA干燥、撕胶、金属蒸镀和出货前检查生产工艺流程。项目共购置金属有机化合物化学气相沉淀设备、高温烤炉、蒸镀机等主要生产设备共116台套。本项目建成后将形成年产6寸氮化镓外延片120000片和氮化镓晶圆超薄化120um制程360000片的生产能力。
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