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【西南】高端掩膜版及工艺设备研发生产项目概况

发布时间	所属行业	项目性质	地区
2022-10-11	机械电子电器	新建	四川

成都中科卓尔芯屏智能科技有限公司，于2022-10-11发布了高端掩膜版及工艺设备研发生产项目，项目的所属领域类型为设备制造，目前中项网搜集到该项目的发布信息更新日期为2022-10-11。

高端掩膜版及工艺设备研发生产项目涉及到的项目工程有很多，建设光刻石英掩模版基板实验与中试产线，重点完成350mm*300mm及其口径范围内高清显示与半导体空白掩模版自动化生产线，并开展掩模版回收、检测、修复、清洗等服务及自研精密装备的研发生产，进行大尺寸空白掩膜版（800mm×920mm×11mm）的量产工艺试验。项目总投资额不低于1.2亿元，固定资产投资不低于0.6亿元。租赁场地合计8000m2，其中办公与展示区域3000m2；厂房5000m2（100级500m2、千级与万级等超净室2500m2，其余厂房2000m2）。

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