【上海】普莱克斯（上海）半导体气体有限公司上海集成电路研发中心供气项目概况

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1、项目建设地址：上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1509号。
2、项目内容：本项目新增氮气、氧气、氩气、氦气和氢气输送管线各一根，依托现有气体管廊敷设，并在各气体接入口处分别建设一座计量站，共5座。同时，新增氧气、氩气汽化装置各一套、氧气和氩气低温保护模块各一套。本项目不新增气体制备能力，全部依托普莱克斯厂内现有气源进行供气。本项目建成后，总供气量约为：氮气：1296万Nm3/a，氧气：13.824万Nm3/a，氩气：25.92万Nm3/a，氦气：25.92万Nm3/a，氢气：13.824万Nm3/a。

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