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【海南,定安县】三靶磁控溅射仪采购申请终止公告
发布时间 2023-06-09 截止日期 立即查看
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招投标详情

南方科技大学    SUSTech-JC-2023-00815 终止公告

项目名称 三靶磁控溅射仪采购申请
项目编号***JC-2023-00815
项目类型 货物类
成交方式 最低价***td>
采购方式 公开竞采
终止理由 同意
公告发布时间***



序号名称数量单位

1

主机 (含强磁靶一套)(核心货物)

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、电源电压:220V 50Hz2、总功率:<2.5KW3、腔体内径:φ300mm4、极限真空度:< E-6mbar5、工作温度:RT-500℃,精度±1℃6、靶枪数量:3个7、靶枪冷却方式:水冷8、靶材尺寸:φ2″,厚度0.1mm-5mm9、直流溅射功率:500W10、射频溅射功率:300W11、载样台:φ140mm12、载样台转速:1rpm-20rpm内可调

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【12】小时内派员上门现场维护,并在【24】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

2

隔膜泵

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、抽速(m3/h):0.52、极限分压强(hPa):≤4.5 3、转速(r/min):1500 4、电源功率(Kw)0.11 5、抽气口连接:G1/8 6、工作环境温度(℃)12-40 7、噪音(dB)≤52

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【12】小时内派员上门现场维护,并在【25】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

3

膜厚显示仪

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、供电电源: AC220V+10% 2、输出电源: DC5V 3A3、显示器: 12 x 2数码管+LED4、通讯端口: RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择;数据位:8位;停止位:1位;奇偶校验:无)

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【12】小时内派员上门现场维护,并在【26】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

4

石英晶片

5

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

6MHz

质保期

售后要求

5

直流电源

2

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1. 电源最大输出功率值:500 W。2. 直流源工作电压: 0 V ~ 800 V。3. 最大工作电流: 0.75 A。4. 直流输出功率:0 W~500 W 连续可调。5. 电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式。6. 直流电源工作压力范围:0 Pa~100 Pa。7. 连续工作时间:24 h。8. 数据显示方式:105 mm × 40 mm 液晶屏显示。9. 功率设置显示:可以实现功率的预先设置,然后一键启动,启动过程中开始缓慢加功率之后达到设置的功率值,实际功率不会过冲而且稳定。显示屏上正确显示输出功率以及输出功率的电压值和电流值。10. 电源工作时间设置:本电源支持加功率时间的设置,设定时间到后,电源自动停止工作。

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【12】小时内派员上门现场维护,并在【24】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

6

射频电源及匹配器

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、输出功率: 0-300W2、功率稳定度 :≤±0.5%3、输出频率 :13.56MHz4、频率信号 :标准正玄波5、输入电压 :AC180-250V6、输入电流: 3A7、输出阻抗 :50Ω 8、承受驻波比: >3.09、冷却方式 :风冷10、通讯口 :RS232 RS48511、标准 :Modebus12、模拟控制接口 :DB1513、输出接口 :N/UHF14、尺寸: 444(宽)×410(深)×128(高)15、匹配器控制 :有

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【12】小时内派员上门现场维护,并在【25】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

7

膜厚监测仪

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、供电电源: AC220V+10% 2、输出电源: DC5V 3A3、显示器: 12 x 2数码管+LED4、通讯端口: RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可选择;数据位:8位;停止位:1位;奇偶校验:无)

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【12】小时内派员上门现场维护,并在【26】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

8

冷水机

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1、工作电压:AC 208V-240V 50Hz/60Hz2、工作电流:3.5A-5.6A3、水箱容积:6L4、水流速率:16L/min5、出入水口:外径φ10mm铜咀6、制冷量:722Kcal/h(2866Btu/h)

质保期

质保1年

售后要求

维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【12】小时内派员上门现场维护,并在【27】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

9

减径直通

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ 8变径到φ6

质保期

售后要求

10

减径直通

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ10变径到φ6

质保期

售后要求

11

不锈钢卡圈卡环

2

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

φ6 不锈钢卡圈卡环一套

质保期

售后要求

12

内六角扳手

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

2.5 L型

质保期

售后要求

13

内六角扳手

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

3 L型

质保期

售后要求

14

内六角扳手

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

4 L型

质保期

售后要求

15

螺丝刀

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

5*75 十字

质保期

售后要求

16

聚酯PU管

4

m

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

外径6 内径4 蓝

质保期

售后要求

17

真空硅脂

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

质保期

售后要求

18

锁扣式夹板箱

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1000*850*950

质保期

售后要求

19

锁扣式夹板箱

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

930*790*590

质保期

售后要求

20

靶材

1

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.Fe靶材 纯度4N 尺寸:50.2*1.5mm 2.W 靶材 纯度4N 尺寸:50.2*1.5mm 3.Fe2O3靶材 纯度4N(带铜背板)尺寸:50.2*1.5mm 4.SiO2靶材 纯度4N (带铜背板)尺寸50.2*1.5mm5.Si靶材 纯度4N (带铜背板) 尺寸:50.2*3mm6.FeS靶材 纯度3N以上(带铜背板 尺寸:50.2*2mm7.MgO靶材 纯度4N (带铜背板) 尺寸:50.2*2mm8.FeNi靶材 纯度3N以上 尺寸:50.2*1.5mm

质保期

售后要求

付款方式合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付70%的货款。
交货期合同签订后30天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前3天(自然日)通知送货
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