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【南海区】SiC芯片制造成套装备开发及产业化项目审批最新情况

项目代码 区域
2020-440605-35-03-036916 南海区
审批事项公示信息
发布时间2020-05-15
所属行业
投资额48614.0万元万元
企业名称
法人代表
单位性质
项目详情购置晶片传输系统等部件16套,形成SiC外延炉、离子注入机、高温氧化炉、高温激活炉母机和工程机共16台;购进加工检测仪器和软件58台/套,并对现有厂房进行配套条件改造,实现SiC芯片成套装备产业化,年产能为50套。建设期间形成收入3.3亿元,满产后收入20亿元,利润6亿元。建设单位季华实验室

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